限制在電子或機械部件中使用某些有害物質是歐盟的一項指令。傳感器制造商必須符合 RoHS 規范，才能在歐盟市場上提供產品。隨著新興材料在商業應用中的使用受到限制，這些規范多年來發生了變化。最初受 RoHS 控制和限制的六種物質是：
- 鎘（cd）；
- 六價鉻（Cr-vi）；
- 鉛（Pb）；
- 汞（Hg）；
- 多溴聯苯（PBB）；
- 多溴二苯醚（PBDE）
傳感器制造商在制造機械或電子部件時如果使用這些物質，必須確保其水平低于1000 ppm。而對于汞和鉛，它們被控制在100 ppm以下更嚴格的水平。
RoHS 3是新的補充指令，增添了四種限制物質，包括：
- 鄰苯二甲酸二（2-乙基己基）酯（DEHP）；
- 鄰苯二甲酸丁芐酯（BBP）；
- 鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）；
- 鄰苯二甲酸二異丁酯（DIBP）；
2015年，增塑劑被添加到指令中并有一段寬限期，以便傳感器制造商有時間遵守新法規。到2021年，所有歐盟監測和控制設備必須將上述物質的成分保持在1000 ppm 以下，以符合RoHS 3。
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